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　　鍍膜設(shè)備抽氣不均會影響鍍膜均勻性?；蓛艉苤匾ｅ兡で耙獙⒒砻嬲J真清潔干凈，達到工件去油、去污和脫水的目的。基板表面污染從零件在加工，運輸?shù)冗^程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等，在潮濕環(huán)境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對于這些污物，能用去油或化學方法清洗干凈。
　　干凈的基片不要直接放在外面，需要用封閉容器存放，減少沾污。鍍膜室內(nèi)也是會積灰的，所以要清洗鍍膜室內(nèi)，烘烤除氣，并將機器放置在干凈的環(huán)境里。注意擴散泵返油。鍍膜的原材料有很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。