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       空鍍膜會(huì)遇到掉膜的情況，產(chǎn)生這樣情況的原因在于哪里，如何去解決這些問(wèn)題呢？
       1、表面清潔度
       產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長(zhǎng)點(diǎn)。
       2、清洗過(guò)程中的問(wèn)題
       鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。
       3、工藝的問(wèn)題
       工藝參數(shù)是否有變動(dòng)，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。
       4、靶材的問(wèn)題
       鈦靶是否中毒，檢查和更換。
       5、真空腔是否漏氣
       進(jìn)行次撿漏。
       6、產(chǎn)品表面氧化
       氧化的原因很多，可以自行判斷處理。